[OLED 공정 제3탄] 증착(Evaporation): 진공 속에서 피어나는 빛의 예술

[OLED 공정 제3탄] 증착(Evaporation): 진공 속에서 피어나는 빛의 예술

TFT 회로가 준비된 기판 위에 빨강(R), 초록(G), 파랑(B)의 빛을 내는 유기물을 입히는 과정을 **’증착’**이라고 합니다. 마치 종이 위에 분무기로 미세한 물감을 뿌려 그림을 그리는 것과 비슷하지만, 훨씬 더 정밀하고 깨끗한 환경이 필요합니다.

1. 왜 ‘진공’ 상태여야 할까?

유기물은 산소와 수분에 매우 취약합니다. 아주 미세한 먼지나 공기 입자만 있어도 유기물이 오염되어 수명이 짧아지거나 불량(Dark Spot)이 생깁니다. 그래서 증착은 우주 공간과 같은 고진공 상태의 거대한 챔버 안에서 진행됩니다.

2. RGB 패터닝의 핵심, FMM(Fine Metal Mask)

현재 중소형 OLED에서 가장 널리 쓰이는 방식은 FMM입니다.

  • 원리: 아주 미세한 구멍이 뚫린 금속 마스크(FMM)를 기판에 바짝 대고, 아래에서 유기물을 가열해 증기 형태로 쏘아 올립니다.

  • 정밀도: 마스크의 구멍을 통과한 유기물 입자가 정확히 해당 픽셀 위치에 안착해야 합니다. 머리카락보다 얇은 마스크가 중력에 처지지 않게 고정하는 것이 핵심 기술입니다.

유기물 증착 공정 심층 분석 및 FMM 기술 개념도
**OLED 유기물 증착 공정 심층 분석 및 FMM 기술 개념도**

3. 2026년 차세대 기술: FMM-less와 eLEAP

시리즈의 백미인 최신 트렌드입니다. 8.6세대 대형 기판으로 가면서 기존 FMM 방식은 무게 때문에 마스크가 처지는 한계에 부딪혔습니다.

  • FMM-less: 마스크 없이 반도체 노광 공정을 응용해 유기물을 입히는 방식입니다.

  • 효과: 마스크 처짐 걱정이 없어 기판을 더 크게 쓸 수 있고, 개구율(빛이 나오는 면적)을 높여 휘도와 수명을 비약적으로 상승시킵니다. JDI의 eLEAP이나 비전옥스의 ViP 기술이 대표적입니다.

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